journal-opt - abstr119-122

https://doi.org/10.15407/jopt.2016.51.119

Optoelectron. Semicond. Tech. 51, 119-122 (2016)

R.O. Denysyuk1, V.M. Tomashyk2, Т.M. Denysyuk1

Interaction of the ZnxCd1-xTe and Cd0,2Hg0,8Te solid solutions with NaNО2–НІ–lactic acid etchants

The chemical dissolution of CdTe and ZnxCd1-xTe (х = 0,04; 0,1) and Cd0,2Hg0,8Te solid solutions single crystals in the NaNO2–HI–lactic acid etchant compositions has been investigated. Concentration and kinetic dependences of the etching rates have been constructed. It was shown that the quality of the treatment by iodine emerging etchants improved at the increasing of zinc and mercury contents in the solid solutions. The etchant compositions and modes of the chemical dynamic polishing of the mention above single crystals have been optimized.

Keywords: solid solutions, semiconductors

PDF

References

1. Denisyuk R.O., Tomashik Z.F., Chernyuk O.S. ta in. Himichne rozchinennya monokristaliv SdTe ta tverdih rozchiniv Cd1--xMnxTe v travilnih sumishah I2 - NI. Fizika i himiya tverdogo tila. 2009. 10, № 1. S. 134-137. (in Ukrainian)

2. Perevoshikov V.A. Processy himiko-dinamicheskogo polirovaniya poverhnosti poluprovodnikov. Vysokochistye veshestva. 1995. № 2. S. 5-29. (in Russian)

3. Denysyuk R.O. Chemical treatment of Cd1-xMnxTe single crystals with H2O2-HI-citric acid aqueous solutions //Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics. - 2014. - V. 17, N.1. - P. 21-24.

https://doi.org/10.15407/spqeo17.01.021

4. Denisyuk R.O. Himiko-mehanichne poliruvannya Sd1-xMnxTe rozchinami na osnovi H2O2-HI-citratna kislota //Fizika i himiya tverdogo tila. - 2014. - T. 15, № 1. - S. 214-218. (in Ukrainian)

5. Himichne poliruvannya SdTe ta tverdih rozchiniv ZnxCd1-xTe i Cd1-xHgxTe vodnimi rozchinami HNO3-NI-tartratna kislota / Ye.Ye. Gvozdiyevskij, R.O. Denisyuk, V.M. Tomashik ta in. // Naukovij visnik Cherniveckogo universitetu. - 2013. Vip. 658. Himiya. - C. 136-140. (in Ukrainian)

6. Tomashik Z.F., Gumenyuk O.R., Tomashik V.N. Himicheskoe travlenie tellurida kadmiya i tverdyh rastvorov na ego osnove v jodmetanolnyh travilnyh kompoziciyah // Kondensirovannye sredy i mezhfaznye granicy. - 2002. - T.4, № 2. - S. 159-161. (in Russian)

7. Fiziko-himicheskie metody obrabotki poverhnosti poluprovodnikov / B.D. Luft, V.A. Perevoshikov, L.N. Vozmilova i dr. - M.: Radio i svyaz, 1982. -136 s. (in Russian)

8. Sangval K. Travlenie kristallov: teoriya, eksperiment, primenenie. - M.: Mir, 1990. -492 s. (in Russian)

9. Chemical treatment of monocrystalline cadmium telluride and Cd1-xMnxTe solid solutions by H2O2 - HI - citric acid etchant compositions // R.O. Denysyuk, V.M. Tomashik, Z.F. Tomashik at al. // Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics. - 2009. - V. 12, N.2. - P. 125-128

https://doi.org/10.15407/spqeo12.02.125

Р.А. Денисюк1 , В.Н. Томашик2 , Т.Н. Денисюк1

ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ ZnxCd1-xTe И Cd0,2Hg0,8Te С ТРАВИТЕЛЯМИ СИСТЕМЫ NaNО2–НІ–МОЛОЧНАЯ КИСЛОТА

Исследованы процессы химического растворения монокристаллов CdTe, твердых растворов ZnxCd1-xTe (х = 0,04; 0,1) и Cd0,2Hg0,8Te в травителях системы NaNO2–HI–молочная кислота. Построены концентрационные и кинетические зависимости скоростей травления и показано, что с увеличением содержания цинка и ртути в составе твердых растворов улучшается качество обрабатываемой поверхности йодвыделяющими травителями. Оптимизированы составы травителей и режимы химико-динамического полирования поверхности исследуемых монокристаллов.

Ключевые слова: твердые растворы, полупроводники

Back / Повернутися